抽氣量    
   抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。一般單位用L/S和m³/h來表示。是彌補漏氣率的參數(shù)。不難理解，理論下抽一個相同體積的容器，為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度，而抽氣量小的真空泵很慢甚至無法抽到我們想要的真空度? 管路或者容器始終不可能做到不漏氣，而抽氣量大的彌補了漏氣所帶來的真空度下降的因素，大氣量的很容易抽到理想真空度值。

    真空度  
   表示處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用壓力值來表示。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值，從表上表示出來的數(shù)值又稱為表壓強(qiáng)，業(yè)界也稱為極限相對壓強(qiáng)，實際應(yīng)用中，真空度通常有真空和相對真空兩種說法。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度=大氣壓強(qiáng)-壓強(qiáng)(大氣壓強(qiáng)一般取101325Pa，水環(huán)式真空泵極限壓強(qiáng)3300Pa；旋片式真空泵極限壓強(qiáng)約10Pa)
 真 空  
    理論上是指容積里面不含有任何的物質(zhì)。（現(xiàn)實中是不存在真正的真空的）通常把容器內(nèi)氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的都稱之為真空狀態(tài)。
真空與相對真空
極限相對壓強(qiáng)    相對壓強(qiáng)即所測內(nèi)部壓強(qiáng)比“大氣壓”低多少壓強(qiáng)。表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值。由于容器內(nèi)部空氣被抽，內(nèi)部的壓強(qiáng)始終低于容器外部壓強(qiáng)。當(dāng)用相對壓強(qiáng)或者表壓強(qiáng)表示的時候，數(shù)值前面必須帶負(fù)號，表示容器內(nèi)部壓強(qiáng)比外部壓強(qiáng)低。
極限壓強(qiáng)    
    壓強(qiáng)即所測內(nèi)部壓強(qiáng)比”理論真空(理論真空壓強(qiáng)值為0Pa)”高多少壓強(qiáng)。它所比較的對象為理論狀態(tài)的真空壓強(qiáng)值。由于工藝所限，我們無論如何都不能將內(nèi)部壓強(qiáng)抽到真空0Pa這個數(shù)值，真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當(dāng)用真空表示時，數(shù)值前面無負(fù)號。